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半導體行業净化解決方案

晶圓設備,微粒過濾和控制AMC是必須的。微粒過濾和控制AMC是高收益、低退貨率的半導體産業首要擔心的問題。不能很好的在潔淨室或设备中控制微粒或AMC将大大的削弱企业的经营利润。潔淨室的主要的问题是产品、工具、加工过程和气味控制的污染。

传统的通风形式是在车间的整个天花板上布满高效過濾器,整个地面为回风栅板。如今我公司生产的FFU 使用自带风机的过滤装置,解决了繁复的安装和性价比问题,是目前市场上一种安静、价格优良的机组,为潔淨室输送高质量的循环空氣。

 

汙染物

來源

引發問題

解決方案

粉塵

空氣

造成集成電路斷路、短路,影響成品率

化學過濾模塊+普通、高效過濾器/FFU

NH3,NMP

外氣

“T-top“現象

化學過濾模塊

 

 

部分成交客戶

 

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